真空烧结炉(双工位)
双工位真空烧结炉主要应用于电力半导体器件,烧结,焊接等工艺
设备参数:
★真空室工位数:1-3位
★真空度:1x10-3Pa,加扩散泵为5x10-6Pa
★工作温度:1000℃
★充气的*高压强:0.5Mpa(可控)
★不锈钢内胆:Φ150-Φ350x1300
★横温区:600-1200mm±1oC
★控温方式:三点三段采用进口日本高精度控温器
★控温曲线:9段升降温/999小时
★工作方式:自动或手动自由转换
★单点精度:±10℃/24h
★正压、负压均采用数字显示表
★双工位交替工作,行走X、Y方向
青岛育豪微电子设备有限公司
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发布时间:2014-3-1 14:49:50
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