单晶脱氧炉

主要技术指标 1、外型形式：单管卧式结构 2、*高设计温度：1000℃ 3、使用温度范围：100℃——1000℃ 4、恒温区长度：600mm。 6、工艺石英管外径： 2-4寸 。 7、温度控制：育豪研发YH-8500系统（全自动触摸屏控制） 8、恒温区精度：≤±1℃／600mm(工作范围内) 9、单点温度稳定性：≤±1℃／24h 10、温度重复性：≤±1℃／24h 11、斜变能力：*大可控升温速率15℃／min，*大可控降温速率：5℃／min 12、总功率：20KW。 13、保温总功率：低于9KW。 14、Spike外控温热偶：K分度. 15、工作真空度：≤10X10-4Pa 16、密封性能：漏气率≤1X10-7Pa·m3／s 17、真空机组：初级泵采用机械泵，二级泵采用无油分子泵 18、真空阀门：全自动电磁真空蝶阀 19、气路系统气密性：1X10-7 Pa·M3／S 20、报警系统：超温报警、断偶报警、真空故障报警、真空室压力异常报警、 21、控制方式：程序控制温度（整套采用触摸屏控制） 22、电源：二相三线220V。 24、预留一路放气口。