烧结炉

浏览：10824 提问时间：2010-12-14 23:45:17

我们班使用的是ALD烧结炉，近期烧结外圆20mm，高度12mm-20mm的基片时靠近炉膛四周的产品容易出现平行度和锥度问题，麻烦帮忙解决一下

回答: 嘉宾60612

烧结炉

这是加压烧结炉吧，需要考虑装炉量和气氛平衡

回答：2010-12-22 8:27:35

提问人95760 【网站会员】

烧结炉

谢谢，是加压烧结炉，只要在产品一周围上一圈石墨条就可以了，是啥问题

回答：2010-12-29 22:31:33

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