真空烧结炉
三工位真空烧结炉主要应用于电力半导体器件,烧结,焊接等工艺
设备参数:
★口径:Φ350mm
★工作方式:共用一套加热体,A、B、C管交替工作
★工作温度:300-1000℃
★恒温区1000mm±3℃
★冷态真空度:5Χ10-4Pa
★真空系统:机械泵+K300扩散泵
★阀门:Φ300气动挡板阀为主阀和进口电磁阀加热
★功率:47KW
★真空计:复合数字表
★充气种类:N2、氩气、H2
★控制系统全自动、手动
青岛育豪微电子设备有限公司
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发布时间:2012-9-22 15:20:28
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