石墨发热体
石墨发热体用石墨材料制成的电炉加热发热体部件。石墨具有优良的导电、导热性能,在特种工业炉为电炉中常用石墨作为发热体。工业电炉中早期选用石墨电极作发热体,后选用密度高的高功率电极作发热体(熔炼石英玻璃也采用石墨电极作发热体)。半导体工业发展,提炼单晶硅,单晶锗,砷化镓、磷化铟等材料的加热炉选择高纯细结构石墨和各向同性石墨作发热体。一些特殊的工业炉和实验炉用炭布或石墨布作发热体。
作为加热炉用石墨发热体要求产生稳定热场,所以要求石墨具有质地均匀,有稳定的电阻率。用于单晶制造的石墨发热体,要求石墨特别洁净,以避免杂质元素影响单晶纯度,其总灰分含量应小于20×10–6,有的要求达到5×10–6。
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发布时间:2015-6-28 9:01:35
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