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气相沉积炉,沉积炉,CVD,CVI炉,顶立科技

气相沉积炉,沉积炉,CVD,CVI炉,顶立科技
立式化学气相沉积炉(沉积炭)可用于以碳氢气体(如C3H8等)为碳源的材料表面或基体等温CVD/CVI处理。

技术特征
根据炉膛尺寸与结构设置温区,温度均匀性好;
采用特殊结构沉积室,密封效果好,抗污染能力强;
采用多通道沉积气路,流场均匀,无沉积死角,沉积效果好;
对炭沉积过程中产生的焦油、固体粉尘、有机气体等能进行有效的处理。

主要配置
炉门:丝杠升降/液压升降/手动升降;手动锁紧/自动锁圈锁紧
炉壳:全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢
炉胆:软碳毡/软石墨毡/硬质复合毡/CFC
加热器、马弗:等静压石墨/模压三高石墨/细颗粒石墨
工艺气路系统:体积/质量流量计;手动阀/自动阀;进口/国产
真空泵和真空计:进口/国产
人机界面:模拟屏/触摸屏/工控机
PLC:欧姆龙/西门子
控温仪表:日本岛电/英国欧陆
热电偶:C分度号/S分度号/K分度号/N分度号
记录仪:无纸记录仪/有纸记录仪;进口/国产
电器元件:正泰/施耐德/西门子

湖南顶立科技有限公司

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发布时间:2024-1-31 18:09:20

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