历时5年！成都领航科技今年有望实现球形硅微粉小批量产销！

日前，成都中节能*科技股份有限公司公告称，公司2020年将落实球形硅微粉特制燃烧器的安装调试工作以及成球工艺的定型化试验，计划在2020年上半年完成量产前工艺的验证验收工作，形成小批量产销。

据了解，该熔融型球形硅微粉研发项目致力于实现球形硅微粉及其工艺装备的规模化、国产化，解决我国球形硅微粉受制于人的局面。

主要工艺为：

将上游客户提供的角形超纯硅微粉（R600、R610）通过气流粉碎机粉碎到合适粒径后，通过火焰熔融成珠法将其高温瞬间熔化快速冷却球化成形；

通过控制高温加热场温度分布来解决超细粉体团聚、球化合并的难题；

通过精密粒径控制技术批量制备各种不同粒径规格的球形硅微粉；

通过表面处理技术制备适合不同封装要求的表面改性球形硅微粉；

通过该项目完成一套球形硅微粉工程化成套装备及关键零部件的研发和实际应用。

项目进展如下：

开始研发时间为2015年5月；

2017年内已完成技术论证、料性分析、分散性测试及熔融火焰场温控制技术、燃烧器改造优化等工作，已形成实验室产品；

2018年度新增工业化设备进行工业化小批量试制；

2019年4月起已送小样给客户进行指标分析，并根据客户反馈对产品进行多次优化试验分析和改进。

2020年将落实特制燃烧器的安装调试工作以及成球工艺的定型化试验，计划在2020年上半年完成量产前工艺的验证验收工作，形成小批量产销。

球形硅微粉主要用于大规模集成电路的封装领域，但国外对球形硅微粉的球化技术、关键装置采取了技术封锁，对工艺装备核心部位进行了封闭式管理。因此，我国高端球形硅微粉主要以进口为主，如何制备高纯、超细的球形硅微粉已成为国内粉体研究的热点。