未来15年微米/纳米的制造技术

　　随着人们对许多工业产品的功能集成化和外形小型化的需求， 使零部件的尺寸日趋微小化。进入人体的医疗机械和管道自动检测装置等都需要微型的齿轮、电机、传感器和控制电路，这些需求带动了微细加工和纳米制造技术的发展，也促使了微型机械向系统化方向发展，并形成了有广阔发展前景的微机电系统(MEMS)。我国在微机械研究方面，先后研制出静电、电压和电磁式的微电机，微泵与微阀、压电与形状记忆合金微夹钳以及微操作系统模型等， 建立了两个微加工基地(IC，LIGA)和一个项目研究中心。 
　　 
　　微型机械在国外已受到政府部门的重视。世界上纳米科技水平*先进的国家是美国、日本、德国、英国。目前世界上已实现商品规模生产的纳米材料有:金刚石、磁性材料、金属、陶瓷、复合材料、半导体材料、生物医用材料等。因此，我国应重视发展微米/ 纳米制造技术，并从战略高度部署微纳系统的设计技术、微型装配与封装技术、微纳测试与表征技术等方面的研究，提高我国在未来l0年乃至20年在国际上的竞争地位。