先进陶瓷材料迎政策东风 半导体设备国产替代加速

近日，工信部等六部门联合发布的《建材行业稳增长工作方案(2025-2026年)》明确提出：壮大先进无机非金属材料产业，聚焦先进陶瓷、超硬材料等，持续开展关键技术和产品攻关。业界认为该政策有望惠及半导体设备用先进陶瓷等关键材料的国产化进程。在国内晶圆厂持续扩产、设备国产化率提升的背景下，先进陶瓷作为半导体制造设备的重要材料，正迎来新的发展机遇。

政策加持，先进陶瓷产业迎来新机遇

《建材行业稳增长工作方案(2025-2026年)》系统规划了建材行业转型路径，明确提出：壮大先进无机非金属材料产业；聚焦先进陶瓷、超硬材料等开展关键技术和产品攻关；支持建立上下游合作机制，推动先进陶瓷在集成电路、新型显示等新兴领域的推广应用。

湖南省随后发布的首批次《重点新材料产品认定管理办法》，将先进陶瓷材料纳入重点认定范围，鼓励产学研用一体化创新与示范应用；上海市奉贤区出台专项支持政策，对集成电路材料等关键技术攻关项目给予*高2000万元奖励，引导先进陶瓷企业加快研发投入。

上述举措并非孤立政策，而是国家多部门协同治理框架的一部分：通过产能调控、资源管理、环保约束与市场需求联动，系统化解结构性供需失衡，为先进陶瓷产业打开规模化应用空间。

国产替代，半导体设备关键环节突破

在半导体制造领域，先进陶瓷零部件因其优异的性能成为不可或缺的关键材料。目前，国内泛半导体陶瓷零部件市场的国产化率仍处较低水平，进口依赖度较高，替代空间广阔。

半导体设备由腔室内和腔室外部分组成，陶瓷零部件多用于靠近晶圆的腔室内，属于关键零部件。其中，陶瓷加热器和静电卡盘因技术壁垒高，在晶圆加热、温控和固定等环节发挥重要作用。

面对技术瓶颈，国内企业正积极布局。珂玛科技的陶瓷加热器产品已完成验证并向多家国内主流半导体设备厂商及半导体晶圆厂商进行量产供应，静电卡盘与超高纯碳化硅套件也逐步量产，并形成一定收入；富创精密的匀气盘量产规模位列国内前三；晶盛机电在8-12英寸半导体硅片设备领域实现技术突破，客户涵盖多家主流厂商；北方华创14nm刻蚀机已实现量产，更先进制程设备正推进验证。

前景广阔，百亿市场空间待开拓

国产半导体陶瓷零部件前景广阔。根据百谏方略研究，2025年全球非氧化物先进陶瓷市场规模预计达67.38亿美元，2032年将增至97.95亿美元，年均复合增长率为5.49%。

市场驱动力主要来自三方面：存储芯片3D化及逻辑芯片制程升级带动产品需求；新建晶圆产能释放拉动出货预期；国产替代空间广阔——2025年国内静电卡盘整体国产化率仅约14%，政策扶持下有望催生百亿级替代空间。随着下游晶圆厂扩产及设备国产化进程加快，国内先进陶瓷零部件需求有望持续释放。

国内半导体陶瓷零部件产业正迎来历史性发展机遇。随着国内企业持续突破技术瓶颈，珂玛科技等头部企业正在推进陶瓷加热器和静电卡盘的批量生产；深圳、广州等地已出台专项政策，明确支持半导体设备及零部件的研发与国产化替代。根据市场预测，全球半导体设备用精细陶瓷市场将持续增长，这将为国内产业提供良好的外部环境。通过产业链的持续努力，我国半导体陶瓷零部件产业将助力提升半导体设备自主可控水平。